罗茨往复泵真空机组是运用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵。中选用作业液来停止润滑并填充泵腔死隙,分隔排气阀和大气时,无作业液时,即为通常所称的无作业液时,。
在油无作业液时,上称皮带传动的、,而把泵与电机间接衔接或用联轴器衔接的称为直联旋片真空泵。在每种泵中,又有单级和双级之分。在单级泵中,由于选用的构造方式和参数不同,泵的极限压力和用途也不同。
无作业液时,的种类繁多,在选型时特别要注意:
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境的影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的真空泵或真空机组。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,首先选择耐腐蚀允许部分颗粒或蒸汽的真空泵,还可以考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
3、所选无作业液时,在其正常工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中所产生的全部气体量,无作业液时,否则影响真空度。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种真空泵不能满足抽气要求,需要几种真泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。