如果想获得高真空的话必须选用气冷罗茨液环泵真空机组，而真空机组需要的罗茨真空泵不能直排大气，如直排大气会形成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如单纯加大罗茨真空泵电机功率又会形成罗茨真空泵过热致使罗茨真空泵转子之间的微小间隙很快因热收缩而卡死。为保证罗茨真空泵能到达较高真空必需保证罗茨真空泵转子之间的间隙。所以罗茨真空泵运用时必需设有前级泵，用前级泵将系统内压力抽至一定范围内时再启动罗茨真空泵，如此能够防止罗茨真空泵过载。前级泵能够选用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排大气的真空泵。
 

　　气冷罗茨液环泵真空机组在普通状况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵扫除可凝性蒸汽才能不够，或运用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时分更为明显。
 

　　充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备(或钢瓶)和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
 

　　净化功能是在完成上述回收、充放功能时同步完成的。
 

　　系统中设置了三只油分离器，分别安装在真空泵出口一只及压缩机的出口二只，以有效去除SF6气体所带的油份。
 

　　系统回路中设置了干燥过滤器，以保证进入贮存容器的SF6的纯度并有效去除水份。过滤器带有加热再生装置，可在抽真空下加热再生，分子筛从而能反复使用。
 

　　系统中设有可靠的安全保护装置，高压压力控制器安装在SF6压缩机排气口，一旦排气压力超过限定值它会自动停止压缩机的工作，待压力下降后再重新启动压缩机；安全阀安装在贮存容器上一旦超压安全阀自动打开排放气体，压力下降后自动关闭。
 

　　另外，系统中还设置了监视仪表和控制仪表共七只，其中真空计一只，安装在装置回收进气口，并在真空计前装置了DN8阀门，需要观察时打开即可；压力表五只，分别安装在回收进气口、SF6压缩机排气口、冷冻压缩机吸排气口和贮存容器上；冷冻系统上设置了一只温度计，利用温包感应SF6液体温度。