一、核心结构组成
1、气冷罗茨真空泵模块
采用一对精密啮合的“8”字形转子，通过齿轮反向同步旋转，转子间及与泵壳间隙严格控制在0.1~0.8mm；
泵体集成冷却器组件，将冷却气体引入吸气腔，直接降低气体压缩产生的热量；
无油润滑设计，无需密封油或润滑剂，避免介质污染。
2、液环真空泵模块
叶轮偏心安装于泵腔，旋转时形成闭合液环(常用水或有机溶剂)，分割出周期性变化的“气腔”；
液体循环系统维持液环稳定性，兼具密封、冷却及捕集可凝性气体的功能。
3、系统集成设计
气冷罗茨泵与液环泵串联，液环泵作为前级泵优先建立基础真空；
控制系统根据真空度阈值自动切换两级泵运行状态。
二、工作流程
1、启动阶段
液环泵率先运行，液膜膨胀形成负压，快速将系统压力降至10^3 Pa量级；期间液环吸收气体压缩热量，防止过热。
2、主抽真空阶段
当真空度达到预设值(约10^3~10^2 Pa)，气冷罗茨泵启动，转子以3450~4100转/分高速旋转，扩大抽速并提升极限真空至10^-2 Pa量级；
冷却气体持续降低罗茨泵腔内温度，相比传统设计减少约30%热负荷。
3、协同稳压阶段
液环泵转为辅助泵，处理罗茨泵排出的气体并维持系统压力平衡；
液环持续捕集粉尘或可凝蒸汽，保护罗茨泵免受污染。
三、技术优势
1、高效温控：气冷设计简化散热结构，避免传统水冷系统的复杂管路，液环则通过循环液体进一步吸收残余热量；
2、耐污染性：液环泵前置过滤杂质，气冷罗茨泵无油设计减少介质污染风险；
3、宽域适配：单级罗茨泵极限真空达6.5×10^-2 Pa，双级泵可达1×10^-3 Pa，适用于化工、制药等高纯真空场景。
