JZJW型罗茨往复真空泵机组主要由罗茨真空泵、无油往复真空泵、电接点真空表(或压力变送器)、电气控制系统、自动保护装置及连接管路等部分组成。
其中，罗茨真空泵作为主泵，负责在较高真空度下实现大抽速气体传输。它依靠泵腔内一对“8”字形转子同步反向旋转，通过容积变化来移动气体，但不能单独排气至大气，需依赖前级泵。无油往复真空泵作为前级泵，直接与被抽系统相连，负责将系统压力从大气压抽至罗茨泵的启动压力范围，特别适用于含水蒸气或腐蚀性气体的工况。
机组配备电接点真空表或压力变送器，用于实时监测系统真空度，并与电气控制系统联动，实现罗茨泵与往复泵的自动启停控制。为保障运行安全，系统集成过载、过热等自动保护功能，可在异常情况下及时停机。
此外，机组包含中间泵(在三级机组中)和各级泵之间的连接管路，确保气流顺畅传递。各级泵之间需保持合理的抽速比(一般不超过2:1)，以避免排气不畅导致的过热或过载。
