随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能*适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。
滑阀真空泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。滑阀式真空泵是靠气阀(滑阀)前后滑动,和两个排气阀片交替做工,打开、关闭气道,进行吸气排气,从而得到真空。
滑阀真空泵中装有滑阀环,滑阀环内装有偏心轮,偏心轮固定在轴上,轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆,它能在半圆形滑阀导轨中上下滑动及左右摆动,因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。泵在运转过程中,由于A、B两室容积周期性地改变,使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔;同时,在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩,并通过排气阀排出滑阀真空泵。