真空泵机组不能单独使用，必须结合前级真空泵才能使用。根据不同的工艺要求和不同配置的前端泵，真空泵单位可由一个或多个真空泵和前级泵组成水平的多级真空泵机组。真空泵机组适用于吸入空气和其他是凝固和无腐蚀性气体，广泛应用于大型抽水速和各种各样的低真空和高真空系统。

为了保证真空泵机能够安全工作，需要特别注意以下几点：
1、使用前详细阅读说明书，熟练地掌握真空机组操作规程；
2、正确使用真空计，掌握其操作规程，若用热偶真空计，注意热偶不要烧坏；若用麦氏真空计，注意水银液面缓缓上升；
3、真空泵机组运行时，禁止修理、清洗真空机组，以及给运动部件上螺钉；
4、真空泵启动前，需检查供水、供油、润滑是否正常；
5、运动部件要有防护措施，以防其飞出来；
6、车间应配有灭火器、砂箱等灭火器材。