真空泵机组振动异常，原因有很多，下面就一步步进行分析判断。首先检查是否由于机器本身及磁场偏心等原因造成。排除电机本身及磁场偏心等原因后，把真空泵与变速箱分开开机试验，电机及变速箱振动异常无变化，由此初步判定电机和变速箱的振动来源于变速箱及联轴器。根据经验，重点测量和分析电机输出端及变速箱高速轴后侧两个点。

       边频带往往随故障的发展而上升，也是齿轮传动中判断故障所在部位的特征频率。可能是齿轮有局部缺陷， 即相当于齿轮每转一周产生一个脉冲激励，啮合频率被一个短的故障脉冲所调制，两侧出现边频带， 并因局部缺陷故障脉冲引起频率突跳。由此可推断高速轴齿轮出现局部点蚀磨损。更换变速箱并找正联轴器后，真空泵机组振动明显减弱。

       在更换变速箱前，用百分表测量联轴器不同轴度大于0.5mm，偏角大于15度，此为综合不对中； 打开变速箱发现高速轴齿轮有五个齿面表层疲劳剥落，其中一个接触面有接近一半脱落。两个故障因素同时存在产生叠加效应，使得真空泵机组在运行时出现振动异常。