罗茨真空泵是在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许人口压力时，罗茨真空泵才能开始工作，并且在一般情况下，罗茨真空泵不允许高压差时工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空；泵时必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。  
　　罗茨真空泵一般为油封机械泵，但如果极限压力要求不高时，可选用其他形式的粗真空泵作为前级泵。特别在抽除有大量水蒸汽的气体时，选用水环真空泵作为前级泵是很理想的，当然所能达到的极限压力要差些。