滑阀真空泵同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵,但是
滑阀真空泵和2X旋片真空泵相比,耐用高出好几倍。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。滑阀真空泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa(均关气镇),双级泵的极限压力≤0.06Pa(关气镇)。目前双极2H滑阀真空泵zui大抽速为300L/S。
由于
滑阀真空泵的旋转质量有较大的偏心,如果滑阀没有很好的质量平衡,在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,因此小厂很难实现对滑阀泵惯性力的*平衡。可以通过动平衡测试和双缸或三缸结构做好滑阀的质量平衡。